半导体与太阳能薄膜工艺所需超高纯特气包括硅烷磷烷砷烷乙硼烷六氟化钨高纯氨等，这些气体特性特殊，对产品品质与人员安全至关重要此类气体输送管道采用不锈钢双层结构，施工时要求极...