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SEMI F47认证主要适用于半导体设备，包括蚀刻设备干式与湿式薄膜沉积设备CVD与PVD热处理设备表面处理与清洗设备光刻设备扫描器步进器与轨道离子植入设备测量设备自动测试设备化学机械平滑与抛光设备等附属设备如电源射频发生器与匹配网络超声发生器计算机与通信系统机器；晶圆分选机Wafer Sorter作为半导体晶圆厂中关键设备，负责晶圆的搬运与分类，确保生产流程高效进行具体功能包括晶圆上下线分批合并倒片控制及产品校验排序料盒交换等，通过Load port机械臂与预对准器协同工作，实现不同型号晶圆的高效分选，同时保障洁净度，提高自动化水平华芯智能自2016。

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