1、4激光加工机器人是将机器人技术应用于激光加工中，通过高精度工业机器人实现更加柔性的激光加工作业本系统通过示教盒进行在线操作，也可通过离线方式进行编程5真空机器人是一种在真空环境下工作的机器人，主要应用于半导体工业中，实现晶圆在真空腔室内的传输真空机械手难进口受限制用量大。